真空紫外分光光度計(jì)——ultraLYZE VUV
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ultraLYZE VUV 真空紫外分光光度計(jì)
真空紫外光譜分析解決方案
1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
ultraLYZE VUV 是一款高性能真空紫外（VUV）光譜測(cè)量系統(tǒng)，集透射與反射測(cè)量于一體，專為115–350 nm深紫外波段精密分析設(shè)計(jì)。采用全自動(dòng)操作模式（turn-key），支持高真空（<10?? mbar）環(huán)境或氮?dú)獯祾撸瑵M足材料在極端條件下的光學(xué)特性表征需求，精度穩(wěn)定優(yōu)于0.3%，為科研與工業(yè)提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
圖1 ultraLYZE VUV
2. 典型應(yīng)用領(lǐng)域
先進(jìn)光學(xué)材料
VUV抗反射膜、氟化鎂（MgF?）/氟化鈣（CaF?）透鏡的透射率與反射損耗分析。
半導(dǎo)體光刻技術(shù)
光刻膠在EUV/VUV波段的吸收特性與均勻性評(píng)估（支持193 nm/157 nm關(guān)鍵波長(zhǎng)）。
空間科學(xué)與天文探測(cè)
空間望遠(yuǎn)鏡鏡面涂層在Lyman-α（121 nm）等波段的反射性能驗(yàn)證。
3. 核心結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點(diǎn)
模塊 | 技術(shù)優(yōu)勢(shì) |
VUV光源 | 氘燈光源， 實(shí)現(xiàn)115-350 nm連續(xù)波長(zhǎng)發(fā)射 |
VUV單色器 | Seya-Namioka型光柵單色器， 選擇光柵實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)選擇， 針對(duì)100-300 nm波長(zhǎng)具有非常高的衍射效率 |
雙光路探測(cè) 系統(tǒng) | 角度可調(diào)PMT探測(cè)器 + 參考光路 實(shí)時(shí)校準(zhǔn)，確保R/T測(cè)量精度<0.3% |
環(huán)境控制 系統(tǒng) | 高真空（<10?? mbar） 配置氮?dú)獯祾吖δ?，以消除氧氣?duì)VUV波長(zhǎng)吸收及樣品的表面污染 |
模塊化擴(kuò)展 | 偏振器：支持S/P偏振測(cè)量 測(cè)量光束聚焦：微區(qū)分析和樣品mapping 樣品傳遞系統(tǒng)：多樣品切換 |
4. 關(guān)鍵規(guī)格參數(shù)
參數(shù) | 指標(biāo) |
波長(zhǎng)范圍 | 115–350 nm |
測(cè)量模式 | 透射（T）、反射（R）（選配） |
測(cè)量精度 | R/T < 0.3% |
波長(zhǎng)分辨率 | 優(yōu)于0.1 nm |
真空環(huán)境 | <10?? mbar ，配置N?吹掃功能 |
探測(cè)器 | 參考光路PMT 透射模式PMT 反射模式PMT(選配) |
可擴(kuò)展模塊 | 偏振器、聚焦光學(xué)、樣品傳遞系統(tǒng) |
5. 為何選擇 ultraLYZE VUV？
全波段覆蓋
115 nm起測(cè)，突破常規(guī)紫外限制，直達(dá)深紫外臨界波段
工業(yè)級(jí)精度
雙光路校準(zhǔn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)<0.3%超穩(wěn)重復(fù)性，適用于質(zhì)檢場(chǎng)景
環(huán)境適應(yīng)性
高真空/惰性氣體雙模式，應(yīng)對(duì)VUV苛刻測(cè)量條件
模塊化未來(lái)
按需升級(jí)偏振、微區(qū)、自動(dòng)化功能，保護(hù)設(shè)備投資價(jià)值
適用場(chǎng)景
光學(xué)鍍膜實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體光刻研發(fā)中心、空間載荷研制單位、新型能源材料評(píng)估平臺(tái)
探索物質(zhì)深紫外響應(yīng)的終極工具
從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)線質(zhì)檢，
ultraLYZE VUV定義VUV光譜新標(biāo)準(zhǔn)！
文案：Yee
校對(duì)：Ω / β
編輯：Sylvia
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