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您需要為您的EUV/SXR光路定制高精度反射鏡嗎？
點擊藍字關注我們引 言極紫外( Extreme Ultraviolet) 是處于真空紫外與軟 X 射線之間，波長在幾納米至幾十納米的一個特殊波段，詳見下圖1。圖1. 由紅外線至硬x射線范圍的電磁波譜由于在極紫外波段存在著大量的原子共振線，因此對于所有的固體，液體及氣體都會對極紫外光有較強的吸收。入射光會在很短的距離被吸收，典型的吸收長度為百納量級（100nm@水），所以無法制作像針對可見光一樣的折
2025-05-13 unistar
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EUV多層膜元件的反射率表征：從微觀到宏觀的極致優(yōu)化
點擊藍字 關注我們WINTER多層膜反射率表征背景介紹EUV多層膜元件是EUV光學系統(tǒng)的核心光學元件，通過周期性膜層結構設計可以在特定波長和入射角度條件下獲得盡可能高的反射率。如圖1是一片由德國optiX fab.制造的周期性Mo/Si多層膜反射鏡在5°入射角條件下的反射率測試結果，對中心13.5nm波長的實測反射率可以達到65%以上，非常接近于理論光學極限。圖1. Mo/Si多層膜反射鏡在PTB
2025-04-07 unistar