在之前的文章《隱藏在德國(guó)Jena的小巨人：optiX fab.》中，我們介紹了德國(guó)optiX fab.公司25年的發(fā)展歷程及其背后的核心掌舵人Torsten Feigl博士。

工欲善其事，必先利其器。對(duì)于超高精密、高質(zhì)量極紫外光學(xué)鏡片的生產(chǎn)，先進(jìn)的鍍膜機(jī)、膜層結(jié)構(gòu)、反射率表征儀器和良好的實(shí)驗(yàn)室條件必不可少。本篇文章將著重為大家介紹德國(guó)先進(jìn)制造商optiX?fab.公司的相關(guān)情況。

德國(guó)optiX fab.公司的新辦公室選址于德國(guó)Jena的Loftfabrik Otto Schott Str. 41，該工廠的歷史可以追溯到1939年，前身是由德國(guó)卡爾蔡司Carl Zeiss公司建設(shè)并用于精密光學(xué)鏡片制造技術(shù)員培訓(xùn)的工廠。

圖2. 卡爾蔡司員工正在接受培訓(xùn)

翻修后的工廠風(fēng)采依舊。2021年初，Torsten給眾星聯(lián)恒的同事說(shuō)他到：“在實(shí)地考察時(shí)，當(dāng)時(shí)還有其人員也在考察此場(chǎng)地，出于對(duì)公司未來(lái)快速發(fā)展的充分信心，即便當(dāng)時(shí)一層的面積就能滿足公司使用需求，我仍然直接租下了共計(jì) 2500m^2?的上下兩層樓?！?/p>

圖3. optiXfab辦公室及實(shí)驗(yàn)室所在建筑外部照片

經(jīng)過(guò)一年多的建設(shè)，optiX fab.開(kāi)始啟用全新的辦公室及實(shí)驗(yàn)室。并以視頻形式展示了實(shí)驗(yàn)室裝修及設(shè)備安裝進(jìn)程的三個(gè)階段。

optiX fab.新建成的鍍膜實(shí)驗(yàn)室安裝了4臺(tái)EUV鍍膜機(jī)- NESSY D，此系統(tǒng)可鍍直徑700mm的鏡片。

圖4. optiX fab新建成鍍膜實(shí)驗(yàn)室

下圖5展示了用于基底裝載及鍍膜后膜層檢測(cè)、清潔及封裝的潔凈室，其中安裝了數(shù)臺(tái)Bruker衍射儀。

圖5. optiXfab 測(cè)試潔凈室（Marco Perske and Klara Stallhofer）

目前optiX fab.已經(jīng)投入了約1500萬(wàn)歐元用于新實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)，以滿足逐年增長(zhǎng)的EUV鏡片需求。Torsten Feigl博士還提到計(jì)劃新增兩臺(tái)EUV鍍膜機(jī)- NESSY D并進(jìn)一步擴(kuò)充產(chǎn)能。

?內(nèi) 容???凱文

?編 輯?? 小喬