產品介紹

? 關于RITE

Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個專業(yè)的X射線實驗室，作為日本理學在歐洲的 X 射線光學鏡片設計、開發(fā)和制造中心。

隨著EUV/XUV產業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應用提供性能優(yōu)越的光學元件。憑借自身在X射線、極紫外光學領域多年的積累，除了承擔母公司理學在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設備的研發(fā) (R&D) 任務以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向全球的工業(yè)客戶、實驗室科研用戶提供標準或定制型EUV/X-RAY光學鏡片和高分辨間接X射線探測器等。

RITE實驗室	EUV Replicated Optic

捷克RITE基于其先進獨特的復制技術 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學器件的研發(fā)設計，定制開發(fā)速度快，質量高，工藝水平全球領先。擁有專利技術的工藝，能夠商業(yè)化生產直徑達300mm、段長達250mm，組合拼接后可達1000mm的光學器件。通過復制技術制作的光學元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點。全反射鏡的另一個有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。

超高表面精度和更低的表面粗糙度

	平均粗糙度 Ra (nm)	均方根 RMS (nm)
10 μm × 10 μm	0.72	0.91
1 μm × 1 μm	0.27	0.34

Ru鍍層的微觀粗糙度:

北京眾星聯恒科技有限公司

面形誤差精度

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使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm

更高的反射率

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對于光學復制技術的擴展，RITE可以設計和生產多箔光學鏡片(MFO)。

多箔光學鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進行反射?？筛鶕蛻粢罂焖俣ㄖ崎_發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。

復制鏡典型參數

? 光譜范圍: EUV (60 – 200 eV)；軟X射線（200-2000eV）；硬X射線 (2 – 10 KeV)

? 鏡片面形: 橢球鏡（點對點聚焦），拋物面鏡（平行光束），也可根據需求定制其他面形

? 光學面材料: Au, Ni, Ru等

? R ≥50%

? 典型表層粗糙度: Ra≈1- 2 nm

? 典型尺寸: 直徑D = 5 – 250 mm；長度L=10-140mm

成像幾何

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加工鏡片示例

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性能展示

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MFO多箔光學鏡 (龍蝦眼，KB鏡組) -EUV/SXR大視場

大視場：max ±60°
襯底：玻璃或硅
開口孔徑：3x3 mm - 300x300 mm
箔層厚度：30μm – 1 mm
表層材料: Au, Ni, Mo, Pt, W, ..

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加工鏡片示例

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性能展示

MFO橢圓 KB系統
能量范圍: 80 – 120 eV 焦長: 440 mm 倍率: ~ 1:1 視場: 20° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 – 1.0 mm 外形尺寸: 100 x 100x 100 mm 口徑: 75 x 75 mm 金鍍膜鏡片鏡片間距： 1 到 5 mm 鏡片間自由空間 (前視): 56%	焦點細節(jié)
激光驅動氙氣和氪氣極紫外輻射的聚焦光斑強度分布。	幾何構型
龍蝦眼鏡片
? 能量范圍5 - 10 keV ? 焦長: 1 000 - 1 200 mm ? 倍率: ~ 1:1 ? 視場: 2° ?聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm ?外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm ?口徑: 18 x 18 mm ? 鍍金鏡片 ? 鏡片間距0.3 mm ?鏡片間自由空間 (前視): 56%	聚焦細節(jié)(FWHM = 19 arcmin)，光源80μm， 8kev, MEDIPIX2探測器(CTU)。