獨家授權(quán)! proLINE 緊湊型軟X射線光源
特點：激光驅(qū)動等離子體的 EUV 光源、高光子通量、單色或?qū)拵нB續(xù)的EUV光輸出、多種定制波長可選、無電極污染，產(chǎn)生碎屑少、小光源尺寸，高亮度。
1-20nm (60-1000eV) 光譜范圍內(nèi)的交鑰匙輻射源。長期穩(wěn)定的等離子源，維護成本低，通過軟件控制進行直觀操作。可選配聚焦裝置和單色器。
- 產(chǎn)地： 德國
- 型號： proLINE
- 品牌： HP Spectroscopy
緊湊型激光驅(qū)動等離子體 EUV 光源
1-20nm (60-1000eV) 光譜范圍內(nèi)的交鑰匙輻射源。
長期穩(wěn)定的等離子源，維護成本低，通過軟件控制進行直觀操作。
* 可選配聚焦裝置和單色器。
產(chǎn)品特點
高光子通量
單色或?qū)拵нB續(xù)的EUV光輸出
多種定制波長可選
無電極污染，產(chǎn)生碎屑少
小光源尺寸，高亮度
規(guī)格參數(shù)
類型 | 無碎屑激光驅(qū)動等離子體XUV源 | ||
氣體靶材 | 氪氣、氮氣、氙氣等多種氣體靶材可選 | ||
重復率 | 20Hz | ||
源功率穩(wěn)定性 | ±1.5% | ||
波長范圍 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多種波長可選 | ||
發(fā)散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等級 | 1 | ||
占地面積 | 1m x 1m | ||
氪氣 | 氮氣 | 氙氣 | |
能量范圍 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
輸出功率（2pi發(fā)散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
典型應用
EUV計量
掩模缺陷檢測
抗蝕劑開發(fā)
極紫外顯微
水窗顯微
NEXAFS光譜
資料文獻
spec sheet HP - 眾星聯(lián)恒proLINE.pdf
公司介紹
德國HP Spectroscopy公司成立于2012年，致力于為全球科研及工業(yè)領域的客戶定制最佳解決方案，是科學儀器的全球供應商和領先開發(fā)商。產(chǎn)品線包括XAS系統(tǒng)，XUV/VUV/X-ray光譜儀，beamline產(chǎn)品等。主要團隊由x射線、光譜、光柵設計、等離子體物理、beamline等領域的專家組成。并與全球領先的研究機構(gòu)的科學家維持緊密合作，關注前沿技術，保持產(chǎn)品的迭代與創(chuàng)新。
參數(shù)
類型 | 無碎屑激光驅(qū)動等離子體XUV源 | ||
氣體靶材 | 氪氣、氮氣、氙氣等多種氣體靶材可選 | ||
重復率 | 20Hz | ||
源功率穩(wěn)定性 | ±1.5% | ||
波長范圍 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多種波長可選 | ||
發(fā)散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等級 | 1 | ||
占地面積 | 1m x 1m | ||
氪氣 | 氮氣 | 氙氣 | |
能量范圍 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
輸出功率（2pi發(fā)散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
應用
EUV計量
掩模缺陷檢測
抗蝕劑開發(fā)
極紫外顯微
水窗顯微
NEXAFS光譜
spec sheet HP - 眾星聯(lián)恒proLINE - 中文.pdf